请问可否对很薄的膜层进行EDS分析？

可能不行，

要看你的显微镜的透射尺寸，我原来做的那台是5微米左右，偶得薄膜还要薄呢，只有几十纳米，所以也不能做：（

几个微米厚的薄膜应该可以吧，不过准确定量可能不太容易。

我感觉比较困难，电子束很容易把这么薄的样品损毁的。

几个微米应该可以的,纳迷就不行了

可以分析，我的薄膜也是很薄，而且是非晶的，XRD无能为力，只能靠EDS和XPS了。

一般SEM中EDS的X射线作用区域大小在0.5到1微米左右，因此，假如膜层在几个微米进行薄膜成分分析是没有问题的。假如薄膜很薄，也可以进行成分分析，但要考虑基地元素对你测量信息的影响。

我觉得可以进行eds分析，首先要确定这很薄的膜层是有机材料还是无机材料，如果是有机材料，建议你就不要进行eds分析了，如果是无机材料还是可以考虑一下eds的.

完全可以,要根据膜层是有机材料还是无机材料，选择合适的加速电压和束流.