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【求助】ICPMS翻译

无机麦地

2011/04/24

A variation of the vapor phase decomposition approach that is widely used in the semiconductor industry to analyze the surface of silicon wafers was proposed as an al ternative to LA-ICPMS for depth proﬁling, to get around the limited availability of matrix-matched solid standards that are required for ac curate quantitative analysis by LA-ICPMS.

LA-ICPMS：激光烧蚀电感耦合等离子体质谱

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无机麦地

第1楼2011/04/24

我试着翻译为：
一种能直接气相分解的方法被广泛应用于半导体工业中分析表面硅的含量，以代替LA—ICPMS能够深度剥蚀样品。它可以获得标准基质固体中更好的检出限就需要用LA—ICPMS进行准确的定量分析。

请大家赐教

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影子

第2楼2011/04/24

不懂ICPMS，我觉得这句话的主语是A variation，谓语是was proposed as an al ternative to LA-ICPMS for depth proﬁling但是不知道variation 应该翻译成什么

Silicon wafers 硅片？matrix-matched 基质匹配？
无机麦地(shuiyang88) 发表:我试着翻译为：
一种能直接气相分解的方法被广泛应用于半导体工业中分析表面硅的含量，以代替LA—ICPMS能够深度剥蚀样品。它可以获得标准基质固体中更好的检出限就需要用LA—ICPMS进行准确的定量分析。

请大家赐教

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无机麦地

第3楼2011/04/25

thank you very much，大概意思已经知道了，不像开始时候那么无头绪了。

一种广泛用于半导体工业中分析硅片表面的蒸汽变化分解法被建议来可以选择替代LA-ICPMS的深度分析，以避开由LA-ICPMS精确定量分析测量中的基体效应。

matrix-matched 还有variation我也不知道具体翻译成什么好

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