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【原创】请教使用椭偏移的前辈

其他仪器综合讨论

  • 有哪位前辈使用过SE 400adv PV？求助如何设定测定膜厚的参数？我们只能测定100nm以内的，我重新创建了一个120nm的模式，可是里面的具体参数不知如何设置！请多指教！
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  • yanyan10

    第1楼2011/05/08

    论坛的人呢？怎么没有人关注呢？真是奇怪！赶紧给个高手指点下吧？

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