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【求助】场发射电子显微镜拍表面有有机物的颗粒

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问下,我在拍场发射的时候,颗粒表面有有机物的存在,为什么颗粒的形貌拍不清楚,谁能给我个解释为什么颗粒表面有有机物颗粒会拍不清楚。
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  • asahi42

    第1楼2011/05/11

    您是用冷场还是热场?电子束需要击穿有机物层打在颗粒上,所产生的二次电子又需击穿有机物层被二次电子探头捕捉到,这么一来回,颗粒边缘肯定很难拍清楚的。如果您的颗粒原子序数够大,同时不需在意有机物的完整与否,为了看清颗粒边缘,就用高加速电压打吧~

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  • laomomo9

    第2楼2011/05/11

    谢谢了。我用的是冷场,就是不清楚表面有有机物的颗粒拍不清楚的原因。

    asahi42(asahi42) 发表:您是用冷场还是热场?电子束需要击穿有机物层打在颗粒上,所产生的二次电子又需击穿有机物层被二次电子探头捕捉到,这么一来回,颗粒边缘肯定很难拍清楚的。如果您的颗粒原子序数够大,同时不需在意有机物的完整与否,为了看清颗粒边缘,就用高加速电压打吧~

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  • asahi42

    第3楼2011/05/11

    LZ方便的话,上个图来瞧瞧?

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  • fengyonghe

    第4楼2011/05/11

    既然已知是有机物,一定是碳氢化合物为主,必须用低加速电压和较小的探针电流。例如碳在20KV激发深度是 4.8 μm ,而在1 KV是26nm。

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  • asahi42

    第5楼2011/05/11

    他不在意有机物是啥,只是想看清楚被有机物包覆的颗粒~

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:既然已知是有机物,一定是碳氢化合物为主,必须用低加速电压和较小的探针电流。例如碳在20KV激发深度是 4.8 μm ,而在1 KV是26nm。

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  • laomomo9

    第6楼2011/05/12

    我有看清楚的没有有机物的图,但是我想知道有机物在被冷场作用下没有被看清楚的原因,也就是有机物和电子有什么作用或者其他什么原因而看不清楚。

    asahi42(asahi42) 发表:他不在意有机物是啥,只是想看清楚被有机物包覆的颗粒~

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  • 小M

    第7楼2011/05/12

    应助达人

    有机物是经不起电子束打击滴!

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  • laomomo9

    第8楼2011/05/13

    为什么捏,能不能给个专业点的解释。

    小M(mitchell_dyzy) 发表:有机物是经不起电子束打击滴!

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  • fengyonghe

    第9楼2011/05/14

    到现在还不知你用的加速电压是多少,二次电子像虽具表面比较近,但还是有一定深度的,最表面的有机物不是二次电子像的最佳成像面。用低加速电压有利于成像更接近表面,你可以不断地降低加速电压比较不同加速电压下的有机物清晰度。表面有机物的二次电子产额很低对加速电压更敏感。但无论如何二次电子像的成像深度也有5-50纳米,不可能完全成像在有机物上。这是与光学显微镜完全不同的概念。

    laomomo9(laomomo9) 发表:我有看清楚的没有有机物的图,但是我想知道有机物在被冷场作用下没有被看清楚的原因,也就是有机物和电子有什么作用或者其他什么原因而看不清楚。

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