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蔡司电镜抽真空问题 waiting Turbo speed ？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 具体过程如下：8月5早上8点左右，发现电镜系统真空处于vent状态，查询了系统记录，无报警，之后发现4号晚上7点20抽pump后，真空就未抽上去。之后重新点pump后，发现机械泵工作不正常，不能抽真空。维修好后继续pump，Vac状态由waiting Turbo speed 变为waiting penning，大约2分钟后system Vacuum正常显示，Vac状态=pumping ，5分钟后system Vacuum变灰，Vac状态=waiting Turbo speed ，大约7分钟左右，pump自动停止，Vac状态=at Air。多次测试，情况基本一致，system Vacuum可以抽到1.50e-004mbar左右即变为waiting Turbo speed。之后我们更换了新的机械泵，情况也是一样。

    之前有发现样品室内有真空泵油的味道，联系工程师说可能是机械泵油会吸造成的，建议我们重新更换泵油和密封件。基本情况就是如上所说，烦请帮忙分析下。谢谢！
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    +关注 私聊

  • jikala

    第1楼2015/08/10

    是不是分子泵也坏了。。。

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  • allen308

    第2楼2015/08/12

    你们的是什么型号的，使用多久了，我们的也是蔡司电镜，和你的情况差不多，但是刚过保的。
    真空泵曾经喷油一次，工程师上门进行维护，更换泵油。之后过了些日子，真空就出现和你类似的情况，抽真空一段时间后真空泵自动停止，最终状态也是Vac状态=at Air。电话给蔡司工程师，说是分子泵坏掉了。后来直接更换新的分子泵。

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  • sweetapple986

    第3楼2015/08/12

    看来是通病？我也试过，要么卡在waiting，要么机械泵停转，最后换了分子泵解决，庆幸是保修期内，费用全免。

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  • 一叶知秋

    第4楼2015/08/13

    可以考虑更换分子泵。如果你想检查，可以看看分子泵工作时功率状态。

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