【讨论】请问在日常维护和故障诊断时，离子源的故障有那些？如何维护处理？

灯丝被烧断、离子源脏、电源线接触不好是比较常见的故障。

温度传感器坏：一般显示为离子源温度无法控制，或超高温，解决方案：换离子源加热块。
离子源脏：调谐EM电压高，502低于2%，峰分叉，分数超过150等，解决方案：清洗离子源。离子源长时间不洗，还可能造成灯丝短路！
四级杆脏：虽然这不属于离子源，但曾经遇到过一次，也在此分享，当时是通过调谐发现的，调谐的时候EM电压一直处在2300左右，502只有1%以下，初步以为是离子源脏，后来无论怎么清洗都无动于衷，经安捷伦工程师现场查看，清洗四级杆，调谐EM电压只有1600,502也大于5%。
灯丝坏：调谐提示灯丝能量不足，或显示无电压。解决方案：换
调谐无峰：可能全氟三丁胺不够或少或灯丝坏，需要都检查。解决方案：换灯丝或调价PFTBA。