常用设备综合讨论
儒雅凤
第1楼2011/07/01
涡轮分子泵抽气系统的常见故障及排除方法见表1。
表1 涡轮分子泵系统常见故障及排除方法
yuduoling
第2楼2011/07/01
分子泵的水冷最好使用除盐水
第3楼2011/07/01
分子泵的冷却循环水,应该为软水吧。
无机麦地
第4楼2011/07/01
用的是去离子水
第5楼2011/07/01
理论上的故障原因是有这么多。排除起来一个个还是较困难的啊
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