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分子泵转速不稳定怎么办?

  • 无机麦地
    2011/07/01
  • 私聊

常用设备综合讨论

  • 分子泵转速不稳定,急求办法解决。。
    或者提供可能的故障原因也可以,先感谢了

    还有一个就是分子泵的水冷,对循环水有什么要求么?
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  • 儒雅凤

    第1楼2011/07/01

    涡轮分子泵抽气系统的常见故障及排除方法见表1。

    表1 涡轮分子泵系统常见故障及排除方法

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  • yuduoling

    第2楼2011/07/01

    分子泵的水冷最好使用除盐水

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  • 儒雅凤

    第3楼2011/07/01

    分子泵的冷却循环水,应该为软水吧。

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  • 无机麦地

    第4楼2011/07/01

    用的是去离子水

    yuduoling(yuduoling) 发表:分子泵的水冷最好使用除盐水

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  • 无机麦地

    第5楼2011/07/01

    理论上的故障原因是有这么多。
    排除起来一个个还是较困难的啊

    儒雅凤(liwei7893) 发表:分子泵的冷却循环水,应该为软水吧。

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