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铝氧化膜厚度的测量

元素分析综合讨论

  • 请问谁知道正常氧化条件下铝的氧化膜厚度的测量方法，估计在10nm以下。
    听说用辉光光谱可以测，上海哪里有这个仪器呢？

    另外ESCA 化学分析电子光谱也能测，谁知道具体信息。

    还有人说XPS也能测，谁知道？
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    +关注 私聊

  • bszhy

    第1楼2006/06/10

    10nm以下的膜可以用XPS的变角度法测定；
    铝基氧化膜可以用辉光测定的；

0
    +关注 私聊

  • bszhy

    第2楼2006/06/10

    我去年做过这样的实验，XPS和辉光的结果相互验证了。

0
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  • xichuan5201

    第3楼2007/04/03

    可以采用塑料热镶嵌的方法，然后通过磨制试样看金相的方法。

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  • 八六三材料检测

    第4楼2013/06/09

    XRF荧光测定就好了、、、、、

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