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溅射氧化铝薄膜的XRDf衍射峰分析？

  • cailiao_nano990
    2011/08/11
    • 私聊

X射线衍射仪（XRD）



  • 这是磁控溅射制备的氧化铝薄膜，厚度30-50nm， S1是制备样品，P1是经过750度处理后的样品，想对比变化，可是峰位怎么都对不上啊？？ 基底材料用的是氧化硅wafer， 请这里的大师兄们给帮忙分析一下吧？？？ 急啊，老板要我解释呢

    小师妹先在这里谢谢大家了！！
  • 分
  • 该帖子已被版主-xujun16加1积分，加2经验;加分理由:鼓励提出新问题！ 是70度的峰对不上？？
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    +关注 私聊

  • 大陆

    第1楼2011/08/12

    峰位没有对不上啊。

0
    +关注 私聊

  • watertime

    第2楼2011/08/12

    XRD用的是什么靶？Cu靶吗？SiO2和Al2O3的pdf卡片都对不上。建议拿样品做SEM的EDS分析，先确定薄膜含有哪些元素再进行标定

0
    +关注 私聊

  • qcz9999

    第3楼2011/08/12

    建议采用掠射法重新测试

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