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离子溅射仪为什么不能喷金了呢？

chasedream

2011/09/08

扫描电镜（SEM/EDS）

这是开学后第一次使用，抽真空抽到5.55时，数字就很难往下走了，按下start后，还显示的是抽真空的状态，不能喷金，不知道这是为什么，请指教。

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小M

第1楼2011/09/08

应助达人

仪器型号是什么？5.55单位是什么？

0

chasedream

第2楼2011/09/08

型号是JFC-1600,压强降到5.55pa

0

小M

第3楼2011/09/08

应助达人

真空还没抽上去，所以喷不了金吧
chasedreamzcj(chasedreamzcj) 发表:型号是JFC-1600,压强降到5.55pa

0

fengyonghe

第4楼2011/09/10

^{^{真空度要达到10-2Pa以上才行。}}

0

chasedream

第5楼2011/09/18

是啊，真空度要求在5Pa以下，才能喷金。
可是抽了40多分钟，仍然是在5.5左右，就不往下降了。到底怎么回事啊？室内密封不严么？该如何进一步密封呢？

急！

0

fengyonghe

第6楼2011/09/18

在橡胶圈上涂密封硅脂

0

mmmmmmmmmp

第7楼2013/08/29

LZ后来发现了问题的原因了吗？是因为真空问题吗？密封圈的问题还是真空泵无法正常工作或者波动电源电压导致的，还是其他的问题，请指教，最近也有这个问题遇到。

0

胖胖熊

第8楼2013/08/31

偶尔也会遇到关掉重启就好了

0

cvbs11

第9楼2013/09/01

看这个情况，感觉是软件有问题哦
胖胖熊(v2719209) 发表:偶尔也会遇到关掉重启就好了

0

胖胖熊

第10楼2013/09/07

个人觉得可能是真空探头出问题
cvbs11(cvbs11) 发表:看这个情况，感觉是软件有问题哦

0

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