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【讨论】请教一下杂散磁场对SEM成像的影响

rennyann

2009/09/16

扫描电镜（SEM/EDS）

在安装电镜之前，会对电镜安装地方有要求，包括杂散磁场应该小于某个值，不知道如果达不到的话会有多大影响啊
请高手赐教

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fengyonghe

第1楼2009/09/17

简单地说就是杂散磁场給电子束施加了额外的偏转磁场。当发现图像边缘出现锯齿状，就得分析一下形成锯齿状的原因：高压不稳还是杂散磁场。
rennyann 发表:在安装电镜之前，会对电镜安装地方有要求，包括杂散磁场应该小于某个值，不知道如果达不到的话会有多大影响啊
请高手赐教

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驰奔

第2楼2009/09/17

有条件最好测试一下，一般制造商都有相关的检查装置。
如果不测也要把方圆50米内的环境设施向制造商交代清楚，让有经验的工程师判断一下！

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驰奔

第3楼2009/09/17

我也看过这样的图片，扭曲的很厉害！原因是楼上高压实验装置，幸亏使用频率不是非常高！
fengyonghe 发表:简单地说就是杂散磁场給电子束施加了额外的偏转磁场。当发现图像边缘出现锯齿状，就得分析一下形成锯齿状的原因：高压不稳还是杂散磁场。

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