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Zeiss FE SEM探测器答疑解惑

  • Insm_5225054a
    2018/07/11
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • in-lens,EsB,AsB,SE2分别指哪些?据我所知,1.Inlens SE是镜内环形二次电子探测器(必然会混合一部分背散射电子)
    2. EsB是带走filter grid的 HA BSE(成份像),可以通过调节去控制混入的二次电子信号量
    3. AsB是LA BSE(应该会混入部分SE Singal?),主要是背散射电子的形貌衬度。
    4. SE2在这里是指什么呢?谢谢各位大神
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  • fengyonghe

    第1楼2018/07/12

    n-lens,EsB,AsB,SE2分别指哪些?据我所知,1.Inlens SE是镜内环形二次电子探测器(必然会混合一部分背散射电子)
    2. EsB是带走filter grid的 HA BSE(成份像),可以通过调节去控制混入的二次电子信号量
    3. AsB是LA BSE(应该会混入部分SE Singal?),主要是背散射电子的形貌衬度。
    4. SE2在这里是指什么呢?谢谢各位大神

    1.正确
    2.EsB探测器---能量选择背散射探测器。E能量
    3.AsB?-----------角度选择背散射探测器。A角度
    4.SE2------------二次电子下探头/背散射激发的二次电子

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  • Insm_5225054a

    第2楼2018/07/12

    谢谢大神,SE2这个探头也就是平常所说的ET探头了,包含SE1/2/3及BSE吗?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:n-lens,EsB,AsB,SE2分别指哪些?据我所知,1.Inlens SE是镜内环形二次电子探测器(必然会混合一部分背散射电子)2. EsB是带走filter grid的 HA BSE(成份像),可以通过调节去控制混入的二次电子信号量3. AsB是LA BSE(应该会混入部分SE Singal?),主要是背散射电子的形貌衬度。4. SE2在这里是指什么呢?谢谢各位大神1.正确2.EsB探测器---能量选择背散射探测器。E能量3.AsB?-----------角度选择背散射探测器。A角度4.SE2------------二次电子下探头/背散射激发的二次电子

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