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高精度一乎面加工与检浏

shine007

2011/10/13

其他仪器综合讨论

高精度平面主要包括平晶、平行平晶、标准平面和分划板等。高精度平面的平面度一般<γ/20，平行度＜2′′。

1高箱度平面的加工方法

a古典抛光法在一般抛光机上采用柏油模、分离器抛光.这种方法与操作者的技能有较大关系，

b.蟹钳式分离器加工法它在很人程度上减小了倒翻力矩的挤压作用，同时也采用新型抛光模(如混合模、聚四氟乙烯抛光模等)，明显提高了加效率利和精度。

c.环形抛光模加工法它用校正板和夹持器代替分离器.不仅能保持分离器的功能，又使抛光速度趋于均匀。采用了膨胀系教很小的玻璃作为基底，其上涂以聚四氟乙烯塑料为抛光膜层，加上校正板的连续自动修正作用，所以可在连续加工中保持抛光模的面形稳定.能获得γ/10~γ/200的面形精度和平行度为1"~0.1"的平行平晶.也可加工棱镜、多面体等。

d.离子抛光法一般是将氢等惰性气体原子在真空中用高频放电方法使之离子化，由高压场使离子加速，轰击光学玻璃表面。通常能以原子为单位去除表面材料，形成所需要的抛光面。这种方法可获得高精度的光学表面，井能通过控制程序进行自动加工。

e.电子计算机控制撇光法用计算机控制光学磨具在零件表面上的运动轨迹、进给速度和压力等工艺因素达到修磨零件表面的目的。这种方法的优点是工具位置、停留时间、运动轨迹及操作参数等均可实现最优化、加工精度可达γ/80，适合于高精度大型光学零件的最后修磨加工。

2.高精度平面的检测 测试方法有液面法、等倾干涉法、多光束干涉法、阴影法和三面法等。

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