XPS及其它能谱仪
nile6835
第1楼2006/03/11
不太明白你的问题
feixiong5134
第2楼2006/03/11
XPS或者AES
chengxps
第4楼2006/03/14
你是怎么感觉出来的？感觉有多厚？如果超过20A，恐怕用XPS就不行啦。就是你说的，“打穿啦”。实际上不是“打穿啦”，是能够检测到你感觉的那层的下面。
第5楼2006/03/14
刚才发错啦。不是超过20A，是小于20A。
第6楼2006/03/14
我看文献说AES扫的厚度要小于XPS,如果小于20埃是不是可以考虑用AES呢?
defect
第7楼2006/08/29
那請問XPS可以做出最大的厚度是多少呢？
第8楼2006/08/30
文献上说最大厚度使5nm左右
hangk2006
第9楼2006/09/23
比较麻烦。 从厚度来说用俄歇最好，但要测出化学态很困难，尤其是定量分析一块，俄歇只能做半定量分析，充其量给出你一个大概的原子浓度百分比。用xps的话，那么就想你说得很容易被击穿的
tiger_zhang
第10楼2006/09/24
可以做X射线衍射，要有拨摸附件装置的设备
skyhunter
第11楼2006/09/26
可以试试扫描电镜＋能谱仪
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