请问电子探针和扫描电镜有什么区别？

扫描电镜和电子探针的根本区别在于电子束流:电子探针的束流(指打在样品表面的电流)要比扫描电镜大几个数量级.
由此造成:电子探针的空间分辨率差,二次电子和背散射电子分辨率差.
如果要求不高, 电子探针可以当作扫描来用.
个人建议不要用来发好文章啊!其图像质量会造成较大麻烦.

做阴极发光当然可以在电子探针上进行.
最好还是在扫描上安装阴极发光附件.实际上即使是热场发射扫描的束流都可以满足阴极发光的要求.
扫描电镜图像和阴极发光图像容易进行对比.

是不是电子探针本身就可以做成分分析而不用借助能谱仪？

Right!
电子探针用的是波谱. 而波谱需要大而稳定的束流, 所以说EPMA的侧重点在成分,而非相貌观测. 但现在的EPMA为了方便,一般也配个能谱, 毕竟能谱快嘛, 做一般常量元素的还可以.

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