一次气质维修

应助达人

楼主可以到时把维修过程发上来分享一下

应助达人

那也没办法啊。要不就送外检咯。

从国外调货相当麻烦，估计15天算快了，样品得拿去外包吧。

分包吧，，，，

检查过程：

1、检查传输线短是否漏气。去掉柱子，用死堵堵上传输线，开机检查，发现仍漏气。
2、检查离子远端。取出源，更新源端的密封圈后，开机检查，仍漏气。
3、检查真空腔盖的密封圈。无破损。
4、检查涡轮泵。运行正常。
5、最后用氩气检漏。用氩气在真空腔的四周，所有与外界接触的地方进行吹氩气，在质谱窗口上设氩气的特征离子（40），发现传真空腔上的一个传输线的位置漏气。

应助达人

PE在国内不生产配件么？A的好像有啊