透射电镜(TEM)
蓝莓口香糖
第1楼2011/12/05
low mag的物镜电流和普通观察模式有很大变化,看来你们的电镜对中出了问题。
kuku5837
第2楼2011/12/05
我也这么认为,那么是否需要对电子枪倾斜,或是其它调节,愿闻其详
第3楼2011/12/05
换灯丝以前没有问题?
第4楼2011/12/05
换灯丝以前好好的
第5楼2011/12/05
我觉得根源不在灯丝上,可能是电镜的机械对中没有做好。电镜的对中措施包括机械对中和电子对中,电子对中属于微调。电镜的各种偏转电路都有一定的工作范围,正常状态下,线圈应该工作在中点附近。如果机械对中没有做好,有些工程师可能用电子对中做大幅度矫正,电镜看起来似乎正常,但是换了灯丝后,相当于机械对中有变化了,这个时候原来调好的电子对中就失效,low mag是物镜电流变化造成电子对中也出现较大变化,所以可能就看不到光了。有经验的工程师可能还是可以通过电子对中把光找回来,凑合着用。你们的电镜以前有没有开过镜筒,清理极靴什么的?
第6楼2011/12/06
跟工程师讨论了下,发现low mag下的Gun1,Gun2值与mag下的值不一样,通过F4调DEF使得两个模式下的x,y值一致,beam就出来了,虚惊一场
第7楼2011/12/06
以前这两个值也不一样?
第8楼2011/12/06
以前没注意过,应该是一样的
第9楼2011/12/06
以前一样,现在怎么会不一样,难道这个东西会自动重置?就算重置也应该重置成一样的呀。
第10楼2011/12/06
可能换了灯丝后,gun的位置发生了变化,那些数据也跟着变动了吧
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