7890/5975关机时四极杆和离子源温度高结果会怎么样？

应助达人

四极杆温度没有降到100度以下，大约是106度应该问题不大，因为已经接近100度了。

turbo bump没有开或运行速度很低，可能是哪里漏气造成的，先咨询检查有无漏气的地方，特别是柱子的MS端接头等刚才动过的地方。

我按照所说的检测漏空气的方法检查了，没有发现异常。泵仍然不工作，前级泵工作正常。是不是turbo pump挂掉了？

应该不会那么容易坏的，你又不是经常这么做

感觉像漏气的问题

应助达人

估计还是漏气的可能性大，再仔细检查一下。

影响不大，漏气可能性大些，再仔细检一次看看

关键问题不是温度，而是在温度没降好之前你是怎么关机的？真空如何卸除的？如果操作不当，分子泵是很可能挂掉的。低真空正常而分子泵完全不启动，这点不太像漏气

前级泵真空有先升再降吗？

应助达人

我们没碰到这样的现象，是不是前级泵有问题了？