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扫描电镜(SEM/EDS)

  • 本司购买的是tescan家的扫描电镜,之前检测试样时电镜吸收电流<1pA,最近几天吸收电流却变为nA级,拍摄图片时发现图像移动厉害,无法检测,烦请能解决此问题,不甚感激!
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  • 小M

    第1楼2012/05/07

    应助达人

    吸收电流在哪里?

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  • zhadaoan

    第2楼2012/05/08

    样品导电么,图像漂移归根结底还是电流增大的原因,其他所有操作条件都没变的情况下电流增大了?要是那样的话,我怀疑是不是灯丝有问题了,导致发射电流增大

    vega(vega) 发表:本司购买的是tescan家的扫描电镜,之前检测试样时电镜吸收电流<1pA,最近几天吸收电流却变为nA级,拍摄图片时发现图像移动厉害,无法检测,烦请能解决此问题,不甚感激!

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  • vega

    第3楼2012/05/08

    样品是硬质合金基体,具有一定的导电性但导电性差,灯丝换过才一、二个月时间,只是前不久连接扫描电镜的不间断电源异常过,发出报警声,最近又好了,就感觉吸收电流不正常了。

    zhadaoan(zhadaoan) 发表:样品导电么,图像漂移归根结底还是电流增大的原因,其他所有操作条件都没变的情况下电流增大了?要是那样的话,我怀疑是不是灯丝有问题了,导致发射电流增大

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  • vega

    第4楼2012/05/08

    zhadaoan(zhadaoan) 发表:样品导电么,图像漂移归根结底还是电流增大的原因,其他所有操作条件都没变的情况下电流增大了?要是那样的话,我怀疑是不是灯丝有问题了,导致发射电流增大

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  • vega

    第5楼2012/05/08

    吸收电流应该就是打在样品上的电流

    小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:吸收电流在哪里?

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  • fengyonghe

    第6楼2012/05/08

    打在样品上的电流称为电子束流,简称为束流。但是用法拉第杯所测得的吸收电流就等于束流。所以你开头用的“吸收电流”应更正为束流。
    图像漂移如排除了样品固定不稳,就只有样品积电才能造成图像漂移。

    vega(vega) 发表:吸收电流应该就是打在样品上的电流

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  • vega

    第7楼2012/05/08

    可是tescan家的扫描电镜参数里有一个“束流强度”值,还一个“吸收电流”值,那应该就不是一个概念。我可以确定样品固定好了,检查过的,那请问样品积电如何解释,是否有解决方法,谢谢!

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:打在样品上的电流称为电子束流,简称为束流。但是用法拉第杯所测得的吸收电流就等于束流。所以你开头用的“吸收电流”应更正为束流。
    图像漂移如排除了样品固定不稳,就只有样品积电才能造成图像漂移。

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  • fengyonghe

    第8楼2012/05/08

    最好首先解决束流变大的原因,对导电性不太好的样品大束流容易积累电荷。

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  • vega

    第9楼2012/05/09

    泰思肯家电镜束流强度是分20个级别表示的,现在是吸收电流变大。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:最好首先解决束流变大的原因,对导电性不太好的样品大束流容易积累电荷。

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  • Frinight

    第10楼2012/05/09

    请教,不知所谓吸收电流。请问是钨灯丝扫描电镜还是场发射?应该不是指吸收电流探头:EBIC要么EBAC吧?

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