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搜集扫描电子显微镜中的名词

金水楼台先得月

2011/09/13

扫描电镜（SEM/EDS）

扫描电子显微镜（Scanning electron microscope--SEM）是以类似电视摄影显像的方式，通过细聚焦电子束在样品表面扫描激发出的各种物理信号来调制成像的显微分析技术。

SEM在60’s商品化，应用范围很广；SEM成像原理与TEM完全不同，不用电磁透镜放大成像；新式SEM的二次电子分辨率已达1nm以下，放大倍数可从数倍原位放大到30万倍；景深大，可用于显微断口分析，不用复制样品，方便；电子枪效率不断提高，使样品室增大，可安装更多的探测器，因此，与其它仪器结合，可同位进行多种分析，包括形貌、微区成分、晶体结构。

现在搜集一些相关的名词，确保在看文献时能够认识，不妨碍理解！请各位朋友多多参与，共同学习！

先从我自己开始！

背散射电子

背散射电子是指被固体样品中的原子核或核外电子反弹回来的一部分入射电子。用Ib示背散射电子流。

弹性背散射电子：一般样品表面原子核反弹回来可达数千至数万ev。

非弹性背散射电子：电子在固体中经过一系列散射后最终由原子核反弹的或由核外电子产生的，不仅方向改变，能量也有不同程度的损失。其能量分布范围很宽，数十ev至数千ev。

特征：

弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多；

能量高，例如弹性背散射，能量达数千至数万ev ；

背散射电子束来自样品表面几百nm深度范围；

其产额随原子序数增大而增多；

用作形貌分析、成分分析（原子序数衬度）以及结构分析（通道花样）。

俄歇电子

如果原子内层电子在能级跃过程中释放出来的能量ΔE并不以X射线的形式发射出去，而是用这部分能量把空位层的另一个电子发射出去（或空位层的外层电子发射出去），这一个被电离的电子称为俄歇电子。

每种原子都有自己的特定壳层能量，所以它们的俄歇电子能量也各有特征值。

特征：

1）各元素的俄歇电子能量值很低，50~1500ev ；

2）来自样品表面1—2nm范围。其平均自由程很小（<1 nm ），较深区域产生的俄歇电子向表面运动时必然会因碰撞损失能量而失去特征值的特点。因此，只有在距表面1nm左右范围内逸出的俄歇电子才具有特征能量。因此它适合做表面分析。

希望对大家有点帮助

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shamoxiongshi

第1楼2011/09/13

支持一下把。

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金水楼台先得月

第2楼2011/09/13

可以补充。
shamoxiongshi(shamoxiongshi) 发表:支持一下把。

0

asahi42

第3楼2011/09/13

呵呵，如果把SEM和TEM的专用名词都列出来，够编一本词典的呢~

0

金水楼台先得月

第4楼2011/09/14

列出常用的吧。
asahi42(asahi42) 发表:呵呵，如果把SEM和TEM的专用名词都列出来，够编一本词典的呢~

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