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求助1篇英文文献,多谢!
kxin
2012/05/21
私聊
文献检索-互助
赏
悬赏金额:
15积分
状态:
已解决
【序号】:1
【作者】:
Dong-Chae Shin
a
,
Kwang-Su Park
a
,
Bo-Reum Park
a
,
HeeHwan Choe
a
,
,
,
Jae-Hong Jeon
a
,
Kang-Woong Lee
a
,
Jong Hyun Seo
b
【题名】:
A study on the dry etching characteristics of indium gallium zinc oxide and molybdenum by the CCP-RIE system for the 4 mask process
【期刊】:
Current Applied Physics
【年、卷、期、起止页码】:
Volume 11, Issue 5, Supplement
, September 2011, Pages S45–S48
【全文链接】:
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1567173911003075
hstudent
2012/05/21
o kok
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hstudent
第1楼
2012/05/21
应助达人
o kok
0
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