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急！！关于电子探针的样品台移动问题，想请教大家

myjjyy

2012/05/28

扫描电镜（SEM/EDS）

电子探针的样品台突然出现问题（前天还正常操作的，过了一个晚上就突然移到别的地方了），偏离了正常位置较远，现在点击初始化也没用，恢复不了，也无法移到样品交换的位置，打开样品室的灯后发现样品台偏离较远，操作杆够不着。大家平时有没有遇到过类似的问题，求帮助！！！感激不尽

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小M

第1楼2012/05/31

应助达人

没有遇到过……

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amigo0830

第2楼2013/02/16

首先挖老贴了,斑竹请勿怪
首先在拔出样品室的状态下,如果你移动JOYSTICK,看样品台是否在动,方向是否正确.
如果没法动的话,那有2种可能
1.你的BEI现在是否可以用,如果不可以用的话,可能是BEI的线卡到STAGE了
2.如果可以用,那可能是STAGE CONT PB ,或者通讯有问题了.
还有他偏移好以后,你再不动他也不会动了是吗?

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小M

第3楼2013/02/28

应助达人

这也不算挖老帖，去年的帖子，况且楼主的问题还没有解决方案，你的建议或许有效！对以后看到这个帖子的人也有用！
amigo0830(amigo0830) 发表:首先挖老贴了,斑竹请勿怪
首先在拔出样品室的状态下,如果你移动JOYSTICK,看样品台是否在动,方向是否正确.
如果没法动的话,那有2种可能
1.你的BEI现在是否可以用,如果不可以用的话,可能是BEI的线卡到STAGE了
2.如果可以用,那可能是STAGE CONT PB ,或者通讯有问题了.
还有他偏移好以后,你再不动他也不会动了是吗?

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