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中红外光谱仪检测单晶硅中的间隙氧

qblue0812

2012/06/14

红外光谱（IR）

近期单位内想使用中红外光谱仪检测单晶硅中的间隙氧
不知道有没有先进使用过这种方法
我目前遇到的问题是

1. 无氧无碳片选现在市面上都没有卖了
不知道哪里还可以买到这种氧碳标准硅片

2. 取基线的范围有900～1000 cm-1处也有别的文件写说960～1040cm-1
到底选哪边比较恰当，原因是什么

3.有没有哪家仪器这方面做的比较详实的，可以供我们参考参考

分
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tangtang

第1楼2012/06/14

送检一个样品到检测机构作为比对可以吗？

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jieun330

第2楼2012/06/15

这样品可能测定镜面反射方法。

请给我你的问题发给我邮箱。

tangtang：请站短联系。

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longxinhubao

第3楼2012/06/15

镜面反射测？怎么个测法？
jieun330(jieun330) 发表:这样品可能测定镜面反射方法。

请给我你的问题发给我邮箱。

jechoi@scinco.com

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jieun330

第4楼2012/06/15

红外光谱有两个方法。投射和反射方法。

反射有衰减反射，漫反射，镜面反射。
镜面反射测定薄膜，单层，金属表面的薄膜等等。
还有知道玻璃反射率。

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qblue0812

第5楼2012/06/15

镜面反射用哪种配件？PIKE有吗?

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syz_trvi

第6楼2012/06/15

测碳氧用镜反射？！应该不是的。直接透射就可以了。红外技术比较成熟了，区别在于主机上。你去各个厂家问问就知道了。标片的问题不了解。
qblue0812(qblue0812) 发表:近期单位内想使用中红外光谱仪检测单晶硅中的间隙氧
不知道有没有先进使用过这种方法
我目前遇到的问题是

1. 无氧无碳片选现在市面上都没有卖了
不知道哪里还可以买到这种氧碳标准硅片

2. 取基线的范围有900～1000 cm-1处也有别的文件写说960～1040cm-1
到底选哪边比较恰当，原因是什么

3.有没有哪家仪器这方面做的比较详实的，可以供我们参考参考

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jieun330

第7楼2012/06/15

镜面反射不对。我暂时眼岔了。

PIKE公司有透射，衰减反射，镜面反射，漫反射附件。如果你想买找我吧。

tangtang：请站短联系。

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lh2000d

第8楼2012/06/18

请参考GB/T 1557-2006 《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》，方法及计算公式均有
无碳无氧标准硅片可以买的到的
测透射，900-1300cm-1，主要测得1107cm-1处Si-O吸收峰，然后用GB中的计算公式去计算
qblue0812(qblue0812) 发表:近期单位内想使用中红外光谱仪检测单晶硅中的间隙氧
不知道有没有先进使用过这种方法
我目前遇到的问题是

1. 无氧无碳片选现在市面上都没有卖了
不知道哪里还可以买到这种氧碳标准硅片

2. 取基线的范围有900～1000 cm-1处也有别的文件写说960～1040cm-1
到底选哪边比较恰当，原因是什么

3.有没有哪家仪器这方面做的比较详实的，可以供我们参考参考

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qblue0812

第9楼2012/06/18

可以请问一下这个无碳无氧标准硅片哪里有提供吗??
谢谢
lh2000d(lh2000d) 发表:请参考GB/T 1557-2006 《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》，方法及计算公式均有
无碳无氧标准硅片可以买的到的
测透射，900-1300cm-1，主要测得1107cm-1处Si-O吸收峰，然后用GB中的计算公式去计算

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ppddppdd

第10楼2012/06/21

我了一下国家标准，好像要求这种硅和你测量的硅要求厚度一致，你的厚度多少啊

我们这啥样的硅片都有，不过大多是国外进口的，需要的话，可以卖两片给你啊

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