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ICP-MS能检测固体晶体（如单晶硅）中的碳原子含量及B,P,As,Al,Sb,Ga的含量吗？（C为ppm级；其它的元素为亚ppb级）如果可以还需要其他仪器来

huangdwen

2003/03/21

其他仪器综合讨论

ICP-MS能检测固体晶体（如单晶硅）中的碳原子含量及B,P,As,Al,Sb,Ga的含量吗？（C为ppm级；其它的元素为亚ppb级）如果可以还需要其他仪器来联用吗？

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第1楼2003/03/23

答：可以。激光烧蚀进样装置与ICP-MS联用可检测固体样品中的元素。其原理是：

高能量的激光束经过聚焦后照射在样品表面，熔融并蒸发样品表面微区，产生的蒸气和细微颗粒与从样品室底部以切线方向引入的环绕样品的氩气流形成气溶胶，从样品室的顶部或侧面引出，由连接管引至ICP炬管（去除雾化器和雾室）中被原子化、离子化。

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第2楼2008/03/25

应助工程师

明显瞎掰，试问现在国内或者国外的哪家硅厂用LA-ICPMS来测元素杂质含量的？且不说没有标样的问题，四极杆类型的MS对磷元素的检测，根本就无法区别干扰，还不如其他的仪器。
binfu 发表:答：可以。激光烧蚀进样装置与ICP-MS联用可检测固体样品中的元素。其原理是：

高能量的激光束经过聚焦后照射在样品表面，熔融并蒸发样品表面微区，产生的蒸气和细微颗粒与从样品室底部以切线方向引入的环绕样品的氩气流形成气溶胶，从样品室的顶部或侧面引出，由连接管引至ICP炬管（去除雾化器和雾室）中被原子化、离子化。

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