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FEI QUANTA200及能谱的异常

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 1、我们用的SEM的型号是FEI QUANTA 200,最近在使用的过程中发现,仪器关机一段时间,再次开机完成后,点击高压按钮无法启动高压(样品室真空度正常),也就是说操作界面下方的HV值为0,重新启动仪器后,高压能够正常开启,这是怎么回事?
    2、还有就是在做样的过程中,经常会出现图像一瞬间黑屏的现象,是高压不稳吗,还是其他什么情况?
    3、再有就是,在做能谱的时候发现谱图后有比较严重的毛刺现象,也就是说本来是20KV的加速电压,结果在能谱图上显示24-25KV都有信号,这又是什么问题呢?
    小弟才疏学浅,不明白以上的问题都是什么原因引起的、采取何种措施来解决,在此期待着各位高手的指教!

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  • l76352455

    第1楼2012/07/10

    我跟你用的型号一样的,但是从来不断电的,据说断电后,再开机的话,电子枪真空很难短时间内达到要求。

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