其他仪器综合讨论
莞城.XiShui
第1楼2012/07/10
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
松茂竹苞
第2楼2012/12/07
热式的MFC性价比较好，但由于原理所限，响应时间一般都是秒级，精度一般也在1%以外，不太适用于需要快速响应或超精确控制的场合，比如实验研究，真空镀膜等。响应慢，也决定了当不但要测量，还要控制流量时，其PID控制超调不好控，波动大。在这些场合，建议使用差压式质量流量控制器或流量计，不过一般场合，热式的绰绰有余了。
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