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325nm拉曼光谱测硅片问题请教

拉曼光谱

  • 请问有人用325nm的拉曼测过硅片没有。我测得时候全是噪音,500附近啥都没有,怎么对焦都不行,请问测过的人又没有什么技巧可以分享一下,怎么测硅信号。我主要是想知道表面信息,所以采用325nm。我的样品是多层膜,Si/Al2O3/Si/Al2O3...,每层只有几个纳米。大虾/大牛啥的,帮帮忙哈。非常感激~~~~~!!!!!!!!!!!!!
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  • 拉曼论坛

    第1楼2012/07/20

    楼主说的硅片是单晶硅吧?单晶硅容易氧化,在表面形成一层氧化硅的薄膜,325纳米激光的穿透深度浅,会被阻挡,所以不容易测出单晶硅在520的信号,还有就是用紫外的时候要采用紫外专用物镜。

    虽然难测,但是还是可以测出来的再调一下光路试试吧。

    不过测你的几个纳米厚的多层膜就很难逐层测出来了。利用光的穿透深度首先Si层都很难穿透,就算穿透了,拉曼在纵向的分辨率在2微米以上,对于几个纳米的厚度根本分辨不了。

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  • leonil

    第2楼2013/03/08

    用325nm激发光源,显微镜摄像头采用激光聚焦的方式,不是用白光聚焦,用激光光斑聚焦,很容易就可以聚焦到样品上

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  • bruceandy

    第3楼2013/05/03

    增加积分时间呢,60s

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  • 锐飏

    第4楼2013/05/07

    是用的紫外镜头么?用的是紫外的光路么?

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  • 锐飏

    第5楼2013/05/07

    还有就是要选用对的光栅哈

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  • biubiubiu

    第6楼2014/06/20

    增加曝光时间试试

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