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谈谈扫描电镜聚焦[zt]

韩国COXEM

2012/10/22

扫描电镜（SEM/EDS）

驰奔
扫描电镜操作，最简单，但最重要的操作就是聚焦-Focus. 正确聚焦是调节其他相关参数的基础。很多情况下，不能正确的聚焦，造成图像不清。

自动聚焦可以解决不能正确聚焦问题，实际上是错误的理解，有时也被某些人用来引导暗示客户，这往往成为忽悠人的一种策略。扫描电镜自动聚焦很多情况下是粗聚焦。总之手动聚焦不清楚，自动一定不会清楚。
下面主要介绍手动聚焦, 当然也是最精细的聚焦。

首先，扫描电镜是齐焦系统，即高倍正确聚焦，降低放大倍数，焦点不会改变。因此使用尽可能可识别的高倍聚焦操作是快速的正确聚焦方法。因为，高倍情况下焦深变小，对聚焦的正确与否，反应更灵敏。

其次，要消除象散。象散的存在，往往会干扰正确聚焦。判断象散，需要较为丰富的图像细节，而象散现象又不被图像干扰，才是好的聚焦点。
如果把象散在拉伸时的位置看做正确聚焦点，再进行象散矫正，图像会更模糊。

再次，高倍高分辨成像，往往受限于信噪比差。反差小的细节，将被噪音覆盖，这时候要找到小反差基本等高的大反差部位作为聚焦点。也可以加大束斑尺寸，使用较高的SPOT值，获得比较良好的信噪比，在低分辨条件下对小反差样品进行聚焦消除象散操作，最后获得正确聚焦，然后再把SPOT值降低，获得高分辨的正确聚焦。改变SPOT值，如果无WD补偿机制，图像将不再正确聚焦，
最后，在高倍正确聚焦情况下，将放大倍数降低到想要的放大倍数，自然可以看清同一个高斯焦面上下一定景深的所有的形貌。如下图低倍图像。

需要说明，扫描电镜成像有多重缺陷，其中荷电严重部位，有边缘效应严重部位，不适合作为正确聚焦调节点。

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︶ㄣ青蟲CC

第1楼2012/10/22

好贴，学习中………………

0

小M

第2楼2012/10/23

应助达人

COXEM[酷塞目] 北京办公室驰奔

好多白色的字啊

0

韩国COXEM

第3楼2012/10/23

小M(mitchell_dyzy) 发表:COXEM 北京办公室驰奔

好多白色的字啊

0

小M

第4楼2012/10/23

应助达人

感觉电压有点高，颗粒表面的细节都没有了

0

蓝莓口香糖

第5楼2012/10/23

WD补偿是怎么实现的？改变透镜电流？

0

fengyinqiao

第6楼2012/10/24

10kx的图片还清晰，40kx、100kx的就不清晰了！

0

驰奔

第7楼2012/11/02

WD改变可看做像距变。物距或焦距变则像距变。改变spot ,则wd变，离焦，。保持聚焦，只有变物镜焦距。自动wd补偿其实就是补偿透镜电流。JEOL所谓可变焦聚光镜

0

asahi42

第8楼2012/11/02

驰奔大哥终于不再孤军奋战了~
韩国COXEM(SH102573) 发表:这您都看出来了，我是没注意，闭着眼直接就贴过来了！谢谢提醒，我已经把白字删了！
另外自我介绍一下，我是驰奔助理，我负责维护参展的展台，我的用户名SH102573是展台号，请您多关照！

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