请问EDX，EDS，EDAX指的什么意思？

EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer（能量色散X射线荧光光谱仪）;
EDS:Energy Dispersive Spectrometer（能量色散谱仪）;
EDAX:美国一家生产EDX和EDS的厂家，目前归Ametek所有。

谢谢回复。

那SEM上附带测能谱的设备是EDS还是EDX，怎么判断？

这是同一个东西，不过是不同的名字。

个人意见：附带在SEM上的应该是EDS，但也有人叫它为EDX；但我觉得EDS是一个探测系统，本身没有激发源而需要SEM等提供，EDX则是有独立的样品仓及激发源。

好像这几个概念现在用的很乱啊，弄得我们这些新手都乱了。期待能有一个清晰的解释。

EDX是Energy-dispersive X-ray spectroscopy吧，好像没有荧光啊

跟楼上学习了

我听了很多人不同的说法

最后决定随便用吧

最常用的是EDX吧