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EDS的分析深度？

XPS及其它能谱仪

  • 用SEM中的EDS做元素面扫描，其反映的是多少深度的信息？
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    +关注 私聊

  • 123456789a

    第1楼2006/06/13

    為了積分!為了積分!為了積分!為了積分!

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  • tcl123

    第2楼2006/06/13

    什么意思？
    我不是为了什么积分，请教一个问题有什么不对？

    123456789a 发表:為了積分!為了積分!為了積分!為了積分!

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  • xlbmcr

    第3楼2006/06/18

    分析深度取决于样品本性和选用的参数

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  • lecoo

    第4楼2006/06/19

    轻元素比较深，重元素相对较浅。
    具体书上有公式计算。和加速电压，元素的吸收系数等有关系。
    一般在几微米左右，重元素可能在几百纳米。

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