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请问在深度剖析过程中如何进行荷电校正?

XPS及其它能谱仪

  • 打到一定深度污染碳没信号了这时应该如何进行荷电校正?
    请指点多谢了
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    +关注 私聊

  • zhuyongfa

    第1楼2006/07/05

    可以通过Ar离子峰进行校准
    溅射过程中必然会有Ar离子进入样品中的

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