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蔡司Zeiss EVO HD 15SEM操作

Jimstar

2013/04/17

扫描电镜（SEM/EDS）

小弟最近到了一个新的公司，有一台蔡司的EVO HD 15 SEM，用六硼化镧灯丝，用了几个月，使用频率不高。公司里面用过SEM的人不多，培训的人也没有学好。我从03年开始接触SEM，用过若干JEOL的，FEI的，Hitachi的，我最近三天都在使用这个EVO HD 15，可以说这是我目前为止用过最难用的SEM的。样品是硅，没有喷金，调焦时候噪音大得要死，用fine focus感觉转半圈都没什么效果（在coarse focus跳得差不多情况下），到目前为止还没排到过20k的比较清晰照片。现在机器出问题了，过两天蔡司的人可能会来，求有经验的指点下，我到时好问他们。

ps：象散、对中都没有问题，在wobble下是正常的，主要问题是噪音贼大，调焦效果不明显。

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小M

第1楼2013/04/17

应助达人

噪点多的话，spot调大点试试

0

asahi42

第2楼2013/04/17

人才啊~四家电镜都会操作啦~
Jimstar(v2714569) 发表:小弟最近到了一个新的公司，有一台蔡司的EVO HD 15 SEM，用六硼化镧灯丝，用了几个月，使用频率不高。公司里面用过SEM的人不多，培训的人也没有学好。我从03年开始接触SEM，用过若干JEOL的，FEI的，Hitachi的，我最近三天都在使用这个EVO HD 15，可以说这是我目前为止用过最难用的SEM的。样品是硅，没有喷金，调焦时候噪音大得要死，用fine focus感觉转半圈都没什么效果（在coarse focus跳得差不多情况下），到目前为止还没排到过20k的比较清晰照片。现在机器出问题了，过两天蔡司的人可能会来，求有经验的指点下，我到时好问他们。

ps：象散、对中都没有问题，在wobble下是正常的，主要问题是噪音贼大，调焦效果不明显。

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fengyonghe

第3楼2013/04/18

可能与真空度有关。。。。。

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Jimstar

第4楼2013/04/18

spot size 调大了只是亮度增大，何况现在已经400了。
小M(mitchell_dyzy) 发表:噪点多的话，spot调大点试试

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Jimstar

第5楼2013/04/18

过奖了，苦恼着呢
asahi42(asahi42) 发表:人才啊~四家电镜都会操作啦~

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Jimstar

第6楼2013/04/18

我看了点资料，这款SEM是可以选择高真空、可变压强、扩展压强模式的，等下仔细看看他们选了哪个模式。
fengyonghe(fengyonghe) 发表:可能与真空度有关。。。。。

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RoadCH

第7楼2013/04/18

这款钨灯丝/六硼化镧扫描电镜是蔡司最高级别的HI-SEM，应该不便宜啊
用六硼化镧灯丝不知道十分配置了离子泵？

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asahi42

第8楼2013/04/18

Zeiss的EVO HD 15和HD 27就是样品仓不一样大？其它参数怎么样？
Jimstar(v2714569) 发表:我看了点资料，这款SEM是可以选择高真空、可变压强、扩展压强模式的，等下仔细看看他们选了哪个模式。

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小M

第9楼2013/04/18

应助达人

也有可能是真空的原因，低真空模式下噪点会比较多
Jimstar(v2714569) 发表:我看了点资料，这款SEM是可以选择高真空、可变压强、扩展压强模式的，等下仔细看看他们选了哪个模式。

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Jimstar

第10楼2013/04/18

价格应该不便宜的，具体多少我也不清楚。

不知道有没有配离子泵。gun vacuum好像是10-7 Torr
RoadCH(roadch) 发表:这款钨灯丝/六硼化镧扫描电镜是蔡司最高级别的HI-SEM，应该不便宜啊

用六硼化镧灯丝不知道十分配置了离子泵？

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