SEM/EDS如何做特征检测？

应助达人

你用的是什么SEM呢？
（1）跑颗粒的首先要注意的是每次的样品台和图像的角度为0，保证你每次测试的区域是一样的。
（2）在保证标准样校准亮度和对比度之前，首先要保证你的束流基本每次是一致的。
（3）调试死时间之前也要保证你的CPS值在一定范围之内，死时间的调试可以通过调试AMP的时间。

什么是跑颗粒？

应助达人

应该是particle分析，也就是所谓的自动分析。

1.是因为束流和上次的不一样

2.死时间不能设置，只能靠改变束流进行控制。高压不同计数率也不同

您说的好专业，我们就是刚参加了培训，只会使用软件现在。什么是束流啊？CPS值是什么东东啊？都不懂，见笑了了，呵呵