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求英文文献一篇

六脉神剑

2013/05/27

文献检索－互助

赏
悬赏金额:100积分状态:已解决

题目：Bonding and deep RIE: a powerful combination for high-aspect-ratio sensors and actuators

作者：Karla Hiller; Matthias Kuechler; Detlef Billep; Bernd Schroeter; Marco Dienel; Dirk Scheibner; Thomas Gessner

期刊：Proc. SPIE 5715, Micromachining and Microfabrication Process Technology X,

卷、年：80 (April 11, 2005); doi:10.1117/12.591509

http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=1324402

johnkeen 2013/05/28

111111

相关话题

johnkeen

第1楼2013/05/28

111111

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六脉神剑

第2楼2013/05/28

谢谢！很厉害。

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