timstoicpms
第3楼2013/06/03
点火前:IF/BK通常小于(1-2)Pa,分析室压强通常小于(2-3)×10-5 Pa
点火后,炬箱右移,推送等离子体靠近采样锥(隔离阀尚未打开),此时IF/BK通常为 260-270 Pa
点火60秒后,听到嗖的一声,隔离阀(Slide Gate)打开,5-6分钟后,分析室压强通常小于(2-3)×10-4 Pa,IF/BK仍保持260-270 Pa。
你的7700x是在哪个步骤熄火的?
点火稳定后,如果IF/BK 小于200 Pa,说明采样锥孔堵塞,需要洗锥。
如果IF/BK 大于300 Pa:
① 检查采样锥后的石墨垫片是否破损?
② 可能是采样锥孔扩大(正常是1mm内径),需要换采样锥了;
③ 女生手劲小,安装截取锥和采样锥时可能拧不紧。建议在拆锥工具上插入一根长柄螺丝刀,增大旋转力臂。
timstoicpms
第6楼2013/06/03
“点火前观察真空度、压力等均正常”你能用数字定量描述么:点火前IF/BF 分析室是多少Pa? 点火后IF/BK又是多少Pa?
拆下采样锥,能看到接口处右下角有一个抽气口。点火后两锥之间(IF/BK)保持260-270 Pa,就是从这儿抽真空的。我曾经犯了一个错误:看到截取锥周围的腔体很脏,就用棉花沾水擦拭,没有等足够长时间就装锥点火(估计腔体表面的水分还没有蒸发完),结果仪器就报错IF/BK压力过大。后来我用氩气吹那儿,把残余水分吹干,再次点火就正常了。
所以我怀疑你的仪器,是不是抽风口那儿有积水?