光哥
第4楼2013/06/16
SIMS=Secondary Ion Mass Spectroscopy,二次离子质谱仪,无机质谱中的一种。度娘的结果如下:http://baike.baidu.com/view/1185277.htm#2
用一次离子束轰击表面,将样品表面的原子溅射出来成为带电的离子,然后用磁分析器或四极滤质器所组成
二次离子质谱仪
的质谱仪分析离子的荷/质比,便可知道表面的成份; 这是一种非常灵敏的表面成份分析手段,对某些元素可达到ppm量级;但由于各种元素的二次离子差额值相差非常大,作定量分析非常困难。
二次离子质谱仪,是最前沿的表面分析技术。二次离子质谱仪揭示了真正表面和近表面原子层的化学组成,其信息量也远远超过了简单的元素分析,可以用于鉴定有机成分的分子结构。二次离子质谱仪广泛应用于微电子技术、化学技术、纳米技术以及生命科学之中,它可以在数秒内对表面的局部区域进行扫描和分析,生成一个表面成分图。
PS:就我所了解的,度娘的一些信息不是很准确。现在SIMS用四级杆做滤质器的极少,四级杆分辨率很低没什么意思。确切地说,用的多的是 高分辨的磁质谱(既可成分分析亦可成像) 和 TOF-SIMS(表面分析)。至于定量分析方面,只要有标样,精密度还是挺高的。
好贵的,cameca的7f貌似要150w米刀
《无机质谱概论》里面哟一章讲解这种方法