SEM连用的能谱仪探测深度大约是多少？急！

问问题前先在论坛里找找，一般都有的
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20050226/129443/

http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20060529/440614/

SEM、能谱仪只能进行表面成分分析，有效深度几百纳米到十几微米（根据分析样品的成分而异），再深的位置产生和出射的X射线强度就极小了，不能做内部分析。

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做SIMS或者用FIB刨掉表层....

是不是可以用ICP分析

谢谢大家的回复！
我需要探测的是介质薄膜内部元素，不知道针对这种薄膜，该仪器的探测深度大约是多少？看了帖子里介绍的计算方法，但还是不甚明白。我的理解是，是不是针对金属薄膜，由于其电子束缚能力弱，可探测深度大；而介质薄膜，其电子束缚能力强，可探测深度小，而不论是介质或金属，其探测范围一般都在300nm~1000nm，是吗？请大家继续指教！谢谢

貌似AES可以做深度剖析