其他仪器综合讨论
第1楼2003/11/23
可考虑使用X荧光光谱法。
第2楼2008/03/25
貌似不行吧?多晶硅里面的碳氧含量不定,有高有低的,而且XRF又是一种严重半定量的工具,能测得准嘛?
第3楼2008/08/13
红外可以把!
21克的爱
第4楼2013/08/22
红外是可以,但是你要先确定你的仪器所具备的条件是否能直接测量多晶硅。1、你的红外测试仪具备检测多晶硅里氧碳含量的方法和对样的预处理的方法,还要有多晶硅的标片。2、将多晶硅转换为单晶再进行测量这是最靠谱的。3、你所说的可以直接测试多晶硅的氧碳含量的标准是什么呢?
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