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无尘室空调的五大特性

v2761150

2013/08/24

常用设备综合讨论

无尘室空调的五大特性
1、温湿度要求比一般空调低
一般空调要求在18°C~26 °C之间，相对湿度则在40%~65%之间；无尘室空调必须控制在22°C~24 °C之间, 相对湿度则在45%~55% 。
恒温恒溼控制
由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感，故在无尘室大部分区域必须控制在± 1°C 及± 3% 之内。

2、所需的外气较多
由于半导体工厂中，制程系统需使用大量的化学品和毒气，这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除，故排气量相当大，为维持无尘室压力比外面的大气压力大，此时所补充的空气量亦随之增加。

3、空调系统24小时全天运转并监控管理
半导体工厂部分制程设备，对温溼度变化极为敏感，如黄光区Stepper光学机台，些微的温、溼度变化均会使设备的准度偏差，另外芯片等产品也必须置放在定温定溼的环境下，故空调系统必须24小时监控管理之。

4、半导体厂无尘室室内压力大小
半导体厂无尘室室内压力必须比室外高些许，除了为避免室外的温、湿度、微粒影响无尘室生产区的环境条件外，并可延长无尘室ULPAfilter的寿命，但不能无条件增加，如此将使向外逸散的洁净空气增加而增加运转成本。

5、气流分布须均匀
无尘室空调为带走无尘室内所产生的微尘粒子以维持洁净度故除了气流速度须达到一定之要求标准外，气流的流线形状也必须依不同的无尘室等级加以适当的控制。

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happy美丽

第1楼2013/08/24

外观是什么样子的？

0

沧海青城

第2楼2013/08/25

应助达人

没搞明白，用在什么地方的呢

0

面对面想你

第3楼2013/08/27

别人都说了是用在无尘实验室的。
空调技术参数上有什么特别之处？

0

happy美丽

第4楼2013/08/27

返回去在看发现我看丢了一个字，还以为是无尘空调，心下正奇怪呢：还有酱紫的空调

好粗心啊。。。
面对面想你(jackcong) 发表:别人都说了是用在无尘实验室的。

空调技术参数上有什么特别之处？

0

蓝人

第5楼2013/08/28

应助达人

同样是因为这个进来的
happy美丽(dyann) 发表:返回去在看发现我看丢了一个字，还以为是无尘空调，心下正奇怪呢：还有酱紫的空调

好粗心啊。。。

0

社区=冬季=

第6楼2013/08/29

24小时运转如果跳闸该如何是好？

0

影子

第7楼2013/08/31

用备用电源呗
社区=冬季=(lylsg555) 发表:24小时运转如果跳闸该如何是好？

0

影子

第8楼2013/08/31

楼主说了半导体工厂用到啊，我想主要是生产那些极为精密的设备或部件时需要吧
沧海青城(lgt228) 发表:没搞明白，用在什么地方的呢

0

沧海青城

第9楼2013/08/31

应助达人

集成块生产倒是需要严格的环境要求
影子(hyheying) 发表:楼主说了半导体工厂用到啊，我想主要是生产那些极为精密的设备或部件时需要吧

0

wangjunyu

第10楼2013/08/31

应助工程师

我也是这样的看了你说的才发现的
happy美丽(dyann) 发表:返回去在看发现我看丢了一个字，还以为是无尘空调，心下正奇怪呢：还有酱紫的空调

好粗心啊。。。

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