HADDF-STEM下做EDS信号很弱怎么办?

纳米结构做EDS要求比较高，因为你的材料如果很小（10nm一下），本身Xray就少，如果你不是大探头或是4探头，收集到的更少，需要时间更长，对仪器稳定性要求很高。

如果你要求的空间分辨率不是很高，有以下方法可以增加一些counts：

1: 尽量选择比较大的 condenser aperture, 这是最有效增加 counts 的方法， 但是会有比较大的 condenser stigma,会降低很多分辨率；

2.可以试试比较大的spot size (我说的大是实际电镜参数 spot size 数字 小)，同时这样也会降低你的空间分辨率；

3.做mapping 的时候，在保证样品漂移比较下的情况下，pixel 采集时间长些，建议选上 drift correction；

基本上 就这些了，平衡好分辨率和counts, 另外如果你的元素比较轻 或者EELS 有比较好的edge, 可以选择做 STEM-EELS.