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修复扫描电镜Stage的莫名Touch Alarm警告故障

unht

2013/11/21
光谱

扫描电镜（SEM/EDS）

摘要：电镜跳出警告Stage touch alarm has been triggered警告之后Stage不能自动，只能人为的用手转动它。通过咨询工程师，对仪器进行仔细检查，最终找到了问题所在，并且借助自有工具对电镜进行了修复。

仪器介绍：FEI的场发射环境扫描电镜，型号：Quanta FEG 250

仪器故障：在把样品放入样品室之后点击PUMP抽真空，结果跳出警告Stage touch alarm has beentriggered，Stage动不了，只能人为的转动它，实际上台子和样品没有接触到极靴，还相隔很远。

故障检测及修复过程：第一天我们选择了关闭仪器关闭电脑然后重新启动。这个在一般软件问题情况下都适应，果然这次出现了奇迹，电镜好了（这就纳闷了，怎么就突然好了，莫非真是软件出了点小问题）

不过好景不长，这种突然间好的情况不太靠谱，正常使用了一天又出现了同样的问题，这下关机重启没用了，实验不得不再次终止。

这回得仔细检查硬件设施，根据工程师的指示：

①先把前面面板拆开如图

②用万用表检查下这个线（红色箭头处）是否断路或者短路,如图

经万用表测量显示为无穷大，说明没有短路

③在检查是否断路，万用表两个笔分别搭在红色箭头3，4上如图

好！问题来了，经检测万用表也显示无穷大，这说明在这两者中某处断开了（3,4正常情况下是连通的一根导线）

于是我们顺藤摸瓜按图索骥找啊找，在这个（如图）地方发现了问题所在，

台面升起后断线被拉出的图片

之前台面没有升起来，断了的线口被深藏里面很难发现，这就可以解释为什么一直没有发现它，还有前面所说的开机重启后恢复一天的正常，而后又出现了同样问题，可能是当时重启仪器前动了下Stage，致使断接处刚好搭接，而后在使用过程中又移动了Stage致使搭接处分开，从而同样问题的再次出现。

问题找到了，那我们就开始焊接吧。摆出我们的工具电烙铁，焊锡丝，排插，镊子等，如图

没两下就焊上了，如下图（这个焊接技术本人练过）

要注意的是焊接的时候温度很高，所接在电烙铁接触到焊接部位时不能时间过长、过频，以免损坏其它部件。

经万用表检测3，4部位显示电阻极小，说明线链接OK，如图

然通过软件里面的程序单独运行每个轴后居然X轴它不动，居然是灰的，其它轴都正常了，如图

我在想是不是没有焊好啊，不会是又断了吧，检查了下没有断是好的。后来我们直接到软件这里面去运行Stage—Home Stage如图

这回出现喜人一幕，X轴可以运行了，一切都OK了如图

总结：到目前为止已过一段时间了，仪器运行正常。假如以后仪器出现问题了，最好通过咨询仪器工程师，如果能够自己修复的尽量自己动手，这样不仅可以进一步加强自己对仪器的了解，提升管理人员的动手能力，更是节省了仪器维护费用

分
该帖子已被版主-小M加15积分，加2经验;加分理由:好作品，好原创

相关话题

wulin321

第1楼2013/11/21

应助达人

在工程师的指导下动手

0

小M

第2楼2013/11/22

应助达人

突然想起来，这个和另外一个的状况有点类似啊。

http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110701/3393343/ 问题二，现象有点不同，那个是导电不良引起图像漂移和荷电；这个直接不导通

0

unht

第3楼2013/11/22

这两个的问题不一样
小M(mitchell_dyzy) 发表:突然想起来，这个和另外一个的状况有点类似啊。

http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110701/3393343/ 问题二，现象有点不同，那个是导电不良引起图像漂移和荷电；这个直接不导通

0

unht

第4楼2013/11/22

这个是必须的
wulin321(wulin321) 发表:在工程师的指导下动手

0

天黑请闭眼

第5楼2013/11/23

很赞，学习一下。

0

小M

第6楼2013/11/23

应助达人

但是感觉焊的是同一根线
unht(unht) 发表:这两个的问题不一样

0

unht

第7楼2013/11/23

这次的线跟上次的线不是同一根，虽然位置差不多（其实也相隔一定距离，里面有不同的线好几根）它功能不一样。
小M(mitchell_dyzy) 发表:但是感觉焊的是同一根线

0

zhw19811005

第8楼2013/11/24

一次很好的DIY经历

0

zjupengyu

第9楼2013/11/25

我也常出现这种问题，第一次吓死我了还以为哪里撞上了！！！我猜想是不是哪里有小颗粒落在里面了？后来出现了两次样品台不能移动，home stage以后就解决了！然后最近在刚抽真空时，又出现几次column pressure too high的警告！不知道怎么回事！！

0

unht

第10楼2013/11/25

不会是某个线路接触不良引起的吧，仔细检查下台子周围的线，看有没有要脱落了的接口
zjupengyu(v2784850) 发表:我也常出现这种问题，第一次吓死我了还以为哪里撞上了！！！我猜想是不是哪里有小颗粒落在里面了？后来出现了两次样品台不能移动，home stage以后就解决了！然后最近在刚抽真空时，又出现几次column pressure too high的警告！不知道怎么回事！！

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