扫描探针显微镜SPM/AFM
第1楼2004/02/09
呵呵,如果非用SPM做的话,那只能通过划痕试验NanoScratch来测试。1、可以从摩擦力位移曲线上看出,摩擦力的突变点对应的纵向位移就是膜的厚度。2、划完后再用AFM/SPM扫描成像直接看出。不过,我还是不主张用SPM来测试膜厚。我给你推荐一款对于薄膜无损坏的测试仪器,X荧光膜厚测试仪。很不错,可以考虑试试。
第3楼2004/02/20
SPM是可以用来测量膜厚的,比如说使用旋转成膜(spin coating)等方法成的膜,可以用很尖的针或刀片在膜表面划一道沟槽,露出基底的表面,这时候在沟槽附近扫一张AFM图像,然后做横截面分析(Section Analysis),通过比较膜上表面和基底之间的垂直距离,就可以得到膜厚了,非常精确。缺点是只能测量膜厚不超过5微米的膜。
第4楼2006/09/03
楼上说得比较常用的
第5楼2006/09/15
这样做会不会对沟槽边缘的样品产生影响?是常温条件下做的吗?
第6楼2006/09/17
可以在常温下测的
第7楼2007/05/07
用划痕方法在划开区域会有卷边,所以这种方法基本不可行,测得的数据是不对的。SPM不能得到精确的膜厚,它是一个表面分析工具,所以如果要测量膜厚的话应该采用这方面专业的工具。
第8楼2007/05/28
用AFM刮擦法一般不能刻一条痕迹,这样在刻痕边上有强烈的卷边突起现象,可以采用刻出一个正方形的方式,利用表面分析工具,测量凹坑的深度。一般基底较硬膜涂层较软的材料可以用这种方法。该方法不是太准确,只能作为一般定量,如果要测得比较准确的数据,建议其他测试仪器和方法,比如台阶仪(微米级),椭圆偏振片(纳米级)。
第9楼2010/03/03
有道理,一般使用红外激光测膜仪
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