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请教扫描电镜真空系统工作过程

小兔3

2014/03/17

扫描电镜（SEM/EDS）

大家好，我们用的是场发射JSM-7001F,您能给我说下真空系统的工作过程吗？一直很糊涂。这个图能帮忙详细解释一下吗？图中的各种阀门还有泵，都指的是什么？他们的工作过程是什么样子的？

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小M

第1楼2014/03/24

应助达人

各种V是valve阀门，RP是旋转泵，DP是扩散泵，SIP是离子泵吧，PIG应该是潘宁规，PEG也是什么规，都是监测真空值的。

工作原理就是泵从下往上一级一级的抽，到了各自的真空管辖范围就开始工作。离子泵是维持GUN的真空的，一直工作。V2左边和N2气瓶连接在一起，出样的时候往样品室充N2去掉真空。

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小兔3

第2楼2014/03/29

谢谢，多谢！
小M(mitchell_dyzy) 发表:各种V是valve阀门，RP是旋转泵，DP是扩散泵，SIP是离子泵吧，PIG应该是潘宁规，PEG也是什么规，都是监测真空值的。

工作原理就是泵从下往上一级一级的抽，到了各自的真空管辖范围就开始工作。离子泵是维持GUN的真空的，一直工作。V2左边和N2气瓶连接在一起，出样的时候往样品室充N2去掉真空。

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