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多层涂镀层厚度测量用什么仪器

X射线荧光光谱仪(XRF)

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  • 基体是陶瓷,陶瓷上有层钼和锰的氧化物层,厚度10UM--50多UM,外层是镍层,厚度是1-10UM,请问用什么仪器可以测两层或多层厚度,暂时我了解了X荧光测厚仪,换有别的仪器可以测量吗
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  • sonne86400

    第1楼2014/03/18

    目前xrf应用能满足你的要求吗 你的那层钼和锰的氧化物层会对你的光谱产生干扰吗

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  • fengyinqiao

    第2楼2014/03/18

    你可以做个陶瓷截面的金相样,用显微镜或是电镜拍照测量

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  • wish721

    第3楼2014/03/18

    一般我们剖开,拍截面~~电镜尺寸也是经过校准的~~~

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  • wuxide1314

    第4楼2014/03/18

    截面扫描电镜做 我公司做的是放大1-10万倍的扫描电镜

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  • 郎当

    第5楼2014/03/19

    如果用扫描电镜测量,那跟X射线荧光测厚仪测出的效果误差不是在一个数量级的,推荐使用X射线的来测。有需要的话可以私信我

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  • loaferfdu

    第6楼2014/03/20

    应助达人

    10um镀层使用XRF测厚仪没有问题,但是50um的Mo、Mn氧化物层,对于大多数XRF测厚仪来说,可能太厚了。或者简单一点说,XRF测厚仪可能不能对应这种样品。

    当然以上是理论推测,供参考。也许上面诸位都在使用SEM像的方式更适合您。不过SEM可能比较费时间一点,不像XRF测镀层厚度,一两分钟一个样品就搞定了。

    koz8(koz8) 发表:基体是陶瓷,陶瓷上有层钼和锰的氧化物层,厚度10UM--50多UM,外层是镍层,厚度是1-10UM,请问用什么仪器可以测两层或多层厚度,暂时我了解了X荧光测厚仪,换有别的仪器可以测量吗

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  • v2755642

    第7楼2014/03/27

    50um的氧化层用XRF测的话,需要多沟通做好标定了试试才晓得测量效果怎样。镍层没有任何问题。

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  • wdy99

    第8楼2014/04/03

    有道理,X射线穿不了这么厚,看看台阶仪和椭偏仪(不了解,也测厚)

    loaferfdu(loaferfdu) 发表:10um镀层使用XRF测厚仪没有问题,但是50um的Mo、Mn氧化物层,对于大多数XRF测厚仪来说,可能太厚了。或者简单一点说,XRF测厚仪可能不能对应这种样品。

    当然以上是理论推测,供参考。也许上面诸位都在使用SEM像的方式更适合您。不过SEM可能比较费时间一点,不像XRF测镀层厚度,一两分钟一个样品就搞定了。

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  • 大张

    第9楼2014/04/04

    只要有标样 用XRF还是应该能搞定的,但是一定要用上照式的,下照式的吃力也不够准确

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  • hausa

    第10楼2014/04/07

    这个 要标定曲线后 实际测量才知道效果吧。

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