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fei QUANTA-400F 故障

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 各位朋友,我这有一台
    
    QUANTA-400F最近出现奇怪现象!高压不开图像没有黑带,开到10kv图像没什么问题,当高压开启超过15-20KV后图像就出现下面图片的样子!咨询下各位老大,这是什么地方出问题了呀!

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  • zsbpx1816

    第1楼2014/04/23

    各位,有高手指点一下没!

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  • fengyonghe

    第2楼2014/04/23

    不清楚问题是什么,黑带像是样品的边缘,移动样品还有黑带?背景上那些条纹也是问题吗?下面的图是什么问题?对应的10千伏是什么样子?应该有10千伏、20千伏同一视场的对比像。

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  • zsbpx1816

    第3楼2014/04/23

    好的,我截屏去

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:不清楚问题是什么,黑带像是样品的边缘,移动样品还有黑带?背景上那些条纹也是问题吗?下面的图是什么问题?对应的10千伏是什么样子?应该有10千伏、20千伏同一视场的对比像。

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  • zsbpx1816

    第4楼2014/04/24



    这是我截屏的图,5KV,10KV,15KV,20KV

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:不清楚问题是什么,黑带像是样品的边缘,移动样品还有黑带?背景上那些条纹也是问题吗?下面的图是什么问题?对应的10千伏是什么样子?应该有10千伏、20千伏同一视场的对比像。

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  • zsbpx1816

    第5楼2014/04/24

    各位大佬我上面描述的不是很清楚:
    故障原因是图像平面有条纹干扰!
    5KV,15KV不明显,要是20KV就非常明显的有条纹出现,这是高压柜故障吗还是什么原因?关掉高压柜后就没有条纹,出现故障前仪器非正常关机2次!

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  • 小M

    第6楼2014/04/24

    应助达人

    从图片来看也不是很明显

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  • fengyonghe

    第7楼2014/04/24

    这四张图比前两张图要好一些,还是可以看得出来有条纹干扰。你把电子束关掉看还有无干扰,若还是有干扰,则干扰来自高压发生器频率不稳定,本身有问题或是可能受到了外界的干扰。若干扰消失,则干扰来自二次电子探测器的污染。

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  • zsbpx1816

    第8楼2014/04/24

    好的!谢谢!我在仔细查查!

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:这四张图比前两张图要好一些,还是可以看得出来有条纹干扰。你把电子束关掉看还有无干扰,若还是有干扰,则干扰来自高压发生器频率不稳定,本身有问题或是可能受到了外界的干扰。若干扰消失,则干扰来自二次电子探测器的污染。

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  • wccd

    第9楼2016/02/28

    应助达人

    明显的高压滤波不良,导致对显示电路的干扰。这一个属于硬件故障问题。

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