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奇妙的球差

  • fengyonghe
    2014/07/27
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）



  • 奇妙的球差，大家讨论一下吧！

    公式中Cs是球差，dmin是束斑直径。看到这个公式忽然发现球差的伟大贡献。有朝一日制造再完美的扫描电镜，彻底消灭球差是谁也不敢做的事，否则Cs为零束斑直径也为零，那就是没有束斑喽！有了球差才有束斑，是不是很奇妙啊？球差就那么伟大？

    问题还是要推敲，忽然感觉有了答案，摆出来大家分享讨论。

    公式中还有一个束流i 。Cs不能独立减小，Cs是随着i的减小而减小。当i→0时，Cs→固有值，固有值的大小由物镜光阑大小决定。所以Cs→0不会发生。公式前面的系数就是i→0时的极限束斑直径。

    还是看看那张发过的图




    三条线的延长线与纵轴的交点就是不同物镜光阑大小对应的极限束斑直径。
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    +关注 私聊

  • 胖胖熊

    第1楼2014/07/27

    这个是最小束斑，球差为零，最小束斑尺寸为零，不代表没束斑吧

0
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  • 胖胖熊

    第2楼2014/07/27

    这个是最小束斑，球差为零，最小束斑尺寸为零，不代表没束斑吧

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  • 胖胖熊

    第3楼2014/07/27

    这个是最小束斑，球差为零，最小束斑尺寸为零，不代表没束斑吧

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  • 胖胖熊

    第4楼2014/07/27

    这个是最小束斑，球差为零，最小束斑尺寸为零，不代表没束斑吧

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  • 胖胖熊

    第5楼2014/07/27

    这个是最小束斑，球差为零，最小束斑尺寸为零，不代表没束斑吧

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  • sweetapple986

    第6楼2014/07/27

    球差为零，最小束斑为零，也就是分辨率无限大，我是这么理解的。

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  • 胖胖熊

    第7楼2014/07/30

    实际上最小束斑直径不仅仅决定于球差，还有其他很多因素

    原文由v2644276发表： 球差为零，最小束斑为零，也就是分辨率无限大，我是这么理解的。

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  • fengyonghe

    第8楼2014/07/31

    我对帖子做了补充。

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