API4000的调谐问题

帮楼主顶起，希望有人能回答

打AB 800电话，让工程师上门吧，怀疑灵敏度有问题，需要维护。

你的质量轴调过了吗？
你说的907的峰应该是906才对
你确定4000的906离子的指标是2.0e7吗？我没用过不清楚这个指标
DP是80，EP是15，CUR10,GS1=13，这些先不要改，喷针位置也没关系，因为你的Q1没有问题
调整下IE3或者CEM电压，看下TIC有没有明显的升高？

在Q3模式下，把调谐时间设置5min，看一下TIC图有没有明显一直下降的趋势，如果一直在下降，说明四级杆污染了，找工程师上门洗四级杆吧.
没在机器旁边亲自调谐，也不太好判断，希望能帮助到你

改改离子能量
实在不行，增大CEM电压

质量轴是offset的参数吗？估计我们的四级杆污染了

应该是906峰！调谐的时候很多东西可以协调的啊！

可以先把GS1、GS2调大一些，TEM调到200.CEM是实在调谐达不到要求才增加的。