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【问】关于溅射理论？

其他仪器综合讨论

  • 用Ar等离子体溅射碳靶后，被溅射出来的碳主要以何种形式存在？

    是碳离子，碳原子还是碳分子？

    谢谢！
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    +关注 私聊

  • 一滴甘雨

    第1楼2006/09/02

    是碳离子和碳原子，碳分子不可能存在。

    feiliao 发表:用Ar等离子体溅射碳靶后，被溅射出来的碳主要以何种形式存在？

    是碳离子，碳原子还是碳分子？

    谢谢！

0
    +关注 私聊

  • feiliao

    第2楼2006/09/02

    那是离子占主要地位还是原子占主要地位，比如说施加偏压时的影响。

0
    +关注 私聊

  • butterfly_xu

    第3楼2006/09/07

    是碳原子，我记得《材料的界面与表面》中有介绍。

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