如何选择扫描电镜

姑苏一梦 2014/08/11

首先看你们要观察的颗粒尺寸。如果颗粒在微米级或更大，且预算比较有限，可以考虑台式扫描电镜；如果颗粒100纳米或更大，可以考虑大型的钨灯丝扫描电镜；如果颗粒在100纳米以下，必须考虑场发射扫描电镜。 其次看你们关心的检测项目。如果需要做EBSD、阴极荧光或波谱，建议考虑钨灯丝扫描电镜或热场发射扫描电镜；如果关注分辨率和图像清晰度，可以考虑冷场发射扫描电镜。 再其次看你们要不要做成分分析，如果需要做成分分析，那就需要加装能谱仪。