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抽真空时机械泵老是自己停掉是怎么回事

ICP-MS

  • 热电XSERIES2的ICPMS,没怎么用,最近开机抽真空时机械泵总是自己停掉,报错显示turbopumperror,在线工程师说是漏气,让我清洗真空规,但是洗完装回去还是这样,一开始还能抽一两个小时,现在抽十分钟就停,而且报过一次错当天就不能再抽,要等第二天开机重来。仪器工程师来也是清洗真空规,连续开了五天又自己停掉了。请高手帮忙看看,谢谢!
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  • kenny008

    第1楼2014/08/29

    我这刚出完这毛病,是因为扩散阀里一个胶圈错位导致密封不严而漏气,你可以注意下转速到多少Hz就上不去了,我这现象是抽到411就怎么也上不去了,过会机械泵自己就停了

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  • dianachen

    第2楼2014/08/29

    我转速可以到1000hz的,真空规已经被我重装很多次,问题依旧,其他地方没敢动过

    原文由v2738793发表: 我这刚出完这毛病,是因为扩散阀里一个胶圈错位导致密封不严而漏气,你可以注意下转速到多少Hz就上不去了,我这现象是抽到411就怎么也上不去了,过会机械泵自己就停了

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  • 狼牛牛

    第7楼2014/08/30

    我那天是关机以后,再抽,抽一会儿就停,试了好几次,结果怒重启!好了。。。

    无语啊!

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  • 阶前尘

    第8楼2014/08/30

    应助达人

    没问工程师啥啥原因~

    狼牛牛(lang2899) 发表:我那天是关机以后,再抽,抽一会儿就停,试了好几次,结果怒重启!好了。。。

    无语啊!

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  • 阶前尘

    第9楼2014/08/31

    应助达人

    你说的是机械泵那块妈吗

    原文由lang2899发表: 我那天是关机以后,再抽,抽一会儿就停,试了好几次,结果怒重启!好了。。。
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  • 阶前尘

    第15楼2014/08/31

    应助达人

    机械泵出现这个问题会不会是锥的问题呢

    狼牛牛(lang2899) 发表:我那天是关机以后,再抽,抽一会儿就停,试了好几次,结果怒重启!好了。。。

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  • 逃出格子

    第16楼2014/09/01

    更换真空规,这么厉害?没换过!

    dianachen(dianachen) 发表:我转速可以到1000hz的,真空规已经被我重装很多次,问题依旧,其他地方没敢动过

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  • tuxlin

    第17楼2014/09/01

    应助达人

    X2清洗真空规是基本操作,不会不行。

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  • 狼牛牛

    第18楼2014/09/01

    当天工程师也在,工程师也只有呵呵,,,呵呵。。。

    阶前尘(jieqian1211) 发表:没问工程师啥啥原因~

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  • 狼牛牛

    第19楼2014/09/01

    刚开始抽真空和锥应该没关系吧?!

    阶前尘(jieqian1211) 发表:机械泵出现这个问题会不会是锥的问题呢

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